一、高真空插板閥的工作原理

       高真空插板閥分為：單密封真空閥、雙密封真空閥，適用于超高真空系統(tǒng)中切斷或接通氣流之用。適用的工作介質(zhì)為潔凈的空氣以及腐蝕性氣體。采用觸摸屏+實(shí)體按鈕操作，實(shí)現(xiàn)閥門的開、關(guān)、停止、急停等控制功能。同時為便于現(xiàn)場人員發(fā)現(xiàn)和排除故障，每套閥門的控制系統(tǒng)現(xiàn)場都有醒目的運(yùn)行及故障報警指示?？蓪?shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程/本地控制切換、互鎖功能。

       單密封真空閥：電機(jī)通電后通過過扭保護(hù)聯(lián)軸器帶動滾珠絲杠轉(zhuǎn)動，絲母連接固定在框架組件上，滾珠絲杠帶動絲母及框架組件做直線運(yùn)動。將安裝在閥板上的密封件壓緊在閥體下板的密封面上，實(shí)現(xiàn)真空密封；

       雙密封真空閥門：電機(jī)通電后通過過扭保護(hù)聯(lián)軸器帶動滾珠絲杠轉(zhuǎn)動，絲母固定在框架組件上，滾珠絲杠帶動絲母及框架組件做直線運(yùn)動，框架組件通過上下各八組四連桿機(jī)構(gòu)與兩個閥板連接，當(dāng)閥板通過框架組件的運(yùn)動到達(dá)密封位置時，將兩個閥板上的密封件同時壓緊在閥體上、下板的密封面上實(shí)現(xiàn)真空雙密封；